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MEMS(微电子机械系统)是通过微加工技术在普通硅基板上集成机械元件、传感器、执行器和电子器件。
它可以被看作是一个系统的大脑。传感器通过机械、热和磁现象从环境中收集信息，之后，电子通过某种决策能力处理传感器获得的信息，指导执行器通过移动、定位、调节、泵送和滤波做出响应，从而控制环境达到某种预期的结果或目的。在典型的MEMS配置中，集成电路(ICs)提供系统的“思考”部分，而MEMS则用主动感知和控制功能补充这种智能。MEMS制造中的微机械部件是使用高度兼容的“微加工”工艺制造的，这种工艺只会蚀刻掉硅晶圆上所需的部件，或添加结构层以形成机械和机电器件。
MEMS设备正在改变今天的世界，为明天带来新的可能。科学家们甚至一起创造了“智能尘埃”，这是由散布在军事地点的一百万个微型MEMS传感器组成的，它们可以用来向人类或计算机传递信息，以便解释可能的部队动向。“智能道路”将嵌入MEMS设备，将道路状况、交通和事故的信息传递给车载全球定位系统，使司机能够避免出现问题，并提醒高速公路工作人员注意可能出现问题的区域。
MEMS加速度计正在迅速取代汽车碰撞安全气囊展开系统中的传统加速度计。传统的方法是使用几个由分立部件组成的笨重加速度计，这些加速度计安装在车辆前端，在靠近气囊的地方有独立的电子设备。
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